Ultra-Fast and High-Precision Crystal Orientation Measurements of 4H-SiC

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (12. : 2018 : Birmingham) Silicon carbide and related materials 2018
1. Verfasser:	Schüler, N. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Weißbach, T. (VerfasserIn), Bradaczek, H. A. (VerfasserIn), Berger, H. (VerfasserIn), Dornich, K. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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