Effect of HCL on Surface Free Energy of SiC during CVD Trench Filling

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (12. : 2018 : Birmingham) Silicon carbide and related materials 2018
1. Verfasser:	Mochizuki, K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ji, S. Y. (VerfasserIn), Kosugi, R. (VerfasserIn), Yonezawa, Y. (VerfasserIn), Okumura, H. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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