Effect of Surface Etching Conditions on Stacking Faults in 4H-SiC Epitaxy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (12. : 2018 : Birmingham) Silicon carbide and related materials 2018
1. Verfasser:	Rana, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chung, G. Y. (VerfasserIn), Anderson, S. (VerfasserIn), Manning, I. (VerfasserIn), Bowen, W. (VerfasserIn), Sanchez, E. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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