Development of Multi-Stack Process on Wafer-on-Wafer (WOW)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	2010 IEEE CPMT Symposium Japan
1. Verfasser:	Fujimoto, Koji (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Maeda, Nobuhide (VerfasserIn), Kitada, Hideki (VerfasserIn), Kim, Youngsuk (VerfasserIn), Kawai, Akihito (VerfasserIn), Arai, Kazuhisa (VerfasserIn), Nakamura, Tomoji (VerfasserIn), Suzuki, Kousuke (VerfasserIn), Ohba, Takayuki (VerfasserIn)
Pages:	2010
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2010
Schlagworte:
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