Preparation of Ferroelectric Capacitor Films Onto the Releasable Substrate and Its Application to Nano-transfer Method

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	2010 IEEE CPMT Symposium Japan
1. Verfasser:	Ichiki, Masaaki (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Limura, Keita (VerfasserIn), Hosono, Toshifumi (VerfasserIn), Kuraki, Keisuke (VerfasserIn), Tomioka, Fumiaki (VerfasserIn), Suga, Tadatomo (VerfasserIn), Maeda, Ryutaro (VerfasserIn), Itoh, Toshihiro (VerfasserIn)
Pages:	2010
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2010
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