"Systemkonzeption, Prozessentwicklung und Untersuchung der Fertigungskette" : Schlussbericht zum Vorhaben : im Rahmen des Eurostars Projekts E! 10220 SUV-Lithography "Entwicklung einer nahtlosen Step&Repeat UV-Lithographie-Technik zur Mikrostrukturierung von Zylinderoberflächen" : Projektlaufzeit: 01.06.2016-30.05.2019 = Final report on the project: "System design, process development and investigation of the production chain" within the framework of the Eurostars Project E! 10220 SUV-Lithography "development of a semless UV-microlithography technology on cylindrical master structures"

"Systemkonzeption, Prozessentwicklung und Untersuchung der Fertigungskette" Schlussbericht zum Vorhaben : im Rahmen des Eurostars Projekts E! 10220 SUV-Lithography "Entwicklung einer nahtlosen Step&Repeat UV-Lithographie-Technik zur Mikrostrukturierung von Zylinderoberflächen" : Projektlaufzeit: 01.06.2016-30.05.2019 = Final report on the project: "System design, process development and investigation of the production chain" within the framework of the Eurostars Project E! 10220 SUV-Lithography "development of a semless UV-microlithography technology on cylindrical master structures"

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Humbach, Oliver (VerfasserIn)
Körperschaft: temicon GmbH (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Ruhl, Thomas (VerfasserIn), Stöver, Christoph (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dortmund temicon GmbH 2019
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01QE1623A
Verbundnummer 01170996
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:1 ungezähltes Blatt, 15 Blätter, 2 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme