NaMIS - Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme; Teilvorhaben: Integration hocheffizienter, langzeitstabiler Nanostrukturen in IR-Emitter für spektroskopische Anwendungen Schlussbericht zum Förderprojekt : Bewilligungszeitraum: 01.05.2016 bis 31.10.2018, Verlängerung bis 30.04.2019 : Berichtszeitraum: 01.05.2016-30.04.2019 = Nanointegration as key technology for MEMS based IR-emitter in spectroscopic sensor systems

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Wedrich, Karin (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Ilmenau Fachgebiet Mikromechanische Systeme (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Hoffmann, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Fachgebiet Mikromechanische Systeme 2019
Schlagworte:	Forschungsbericht
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