NaMIS - Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme; Teilvorhaben: Integration hocheffizienter, langzeitstabiler Nanostrukturen in IR-Emitter für spektroskopische Anwendungen Schlussbericht zum Förderprojekt : Bewilligungszeitraum: 01.05.2016 bis 31.10.2018, Verlängerung bis 30.04.2019 : Berichtszeitraum: 01.05.2016-30.04.2019 = Nanointegration as key technology for MEMS based IR-emitter in spectroscopic sensor systems

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wedrich, Karin (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Ilmenau Fachgebiet Mikromechanische Systeme (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Hoffmann, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Fachgebiet Mikromechanische Systeme 2019
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13XP5019F Verbundnummer 01169511 Durchführende Institution und Autoren dem Berichtsblatt entnommen Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	21 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme