Microlithography science and technology

"Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices"--

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Smith, Bruce W. (HerausgeberIn), Suzuki, Kazuaki (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Boca Raton CRC Press 2020
Ausgabe:	Third edition
Schlagworte:	Microlithography > Industrial applications > Integrated circuits > Masks > Metal oxide semiconductors, Complementary > Design and construction > Manufacturing processes
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!