High definition metrology based surface quality control and applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Du, Shichang (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Xi, Lifeng (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Singapore Springer 2019
Schlagworte:	Surfaces (Technology) > Analysis > Surfaces (Technology) ; Analysis
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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