"EUV Beleuchtungsoptik für 5nm Projektionssystem" Schlussbericht im Rahmen des ECSEL Projekts "Technology advances and key enablers for 5 nm" (TAKE5) : Laufzeit: 01.04.2016-31.03.2019
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Oberkochen
Carl Zeiss SMT GmbH
30.9.2019
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16 ESE 0072K Verbundnummer 01169089 Verfasser dem Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 30 Seiten, 2 ungezählte Blätter Diagramme, Illustrationen |