Teilvorhaben: Entwicklung und Recycling einer kostengünstigen Sägeslurry auf Wasserbasis Schlussbericht gemäß Nr. 8.2 NKBF 98 zum Verbundprojekt REWASI "Niedrige Waferkosten durch Recycling von Silizium-Sägeabrieb und Einsatz von Wasser als kostensparende Trägerflüssigkeit im Vieldrahtsägeprozess" : Laufzeit des Vorhabens: von: 01.12.2015 bis: 30.11.2018

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ischenko, Vladislav (VerfasserIn)
Körperschaft: SiC Processing (Deutschland) GmbH (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Gröschel, Matthias (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Bautzen SiC Processing (Deutschland) GmbH 15.04.2019
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMWi 0325938B. - Verbund-Nummer 01165109
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:30 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme