Verbesserung der Regelung bei der Herstellung von Siliciumeinkristallen nach dem Czochralski-Verfahren

Dissertation, Universität Stuttgart, 2019

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schröck, Thomas (VerfasserIn)
Körperschaft: Universität Stuttgart (Grad-verleihende Institution)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart 2019
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dissertation, Universität Stuttgart, 2019
Beschreibung:169 Seiten
Illustrationen, Diagramme