Vorhabensbezeichnung: Multiskalige Analyse lokaler Eigenspannungen von Nanoschichten auf Membranen; Akronym: NanoEiS+ Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.08.2015 bis 30.11.2018

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Fraunhofer-Gesellschaft (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Auerswald, Ellen (MitwirkendeR), Brämer, B. (VerfasserIn), Gadhiya, G. (VerfasserIn), Weißbach, M. (VerfasserIn), Hildebrandt, M. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme 27.05.2019
Schlagworte:	Forschungsbericht > Technische Membran > Nanostrukturiertes Material > Beschichtung > Bulge-Test > Eigenspannung > Finite-Elemente-Methode
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13XP5002B. - Verbund-Nummer 01162925 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	32 Seiten Illustrationen, Diagramme