Verbundvorhaben: Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer, Kurzbezeichnung: EpiPower Abschlussbericht zum BMU-geförderten Projekt : Teilvorhaben der SINGULUS TECHNOLOGIES AG: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten : Projektlaufzeit: 01.11.2016 bis 31.10.2016 (kostenneutral verlängert bis 31.12.2018)
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Fürstenfeldbruck
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
20190513
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMWi 0324135C. - Verbund-Nummer 01174995 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
|---|---|
| Beschreibung: | 33 Blätter Illustrationen, Diagramme |