Spectroscopic characterization of sputtered ScAlN thinfilms

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Deutsche Physikalische Gesellschaft (2019 : Regensburg) DPG-Frühjahrstagung 2019 (DPG Spring Meeting 2019) of the Condensed Matter Section (SKM) together with the Division Radiation and Medical Physics and the Working Groups Equal Opportunities, Industry and Business, Young DPG; Symposia, exhibition of scientific instruments and literature
1. Verfasser:	Hofmann, Tim (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tonisch, Katja (VerfasserIn), Hähnlein, Bernd (VerfasserIn), Kovic, Jaroslav (VerfasserIn), Pezoldt, Jörg (VerfasserIn), Krischok, Stefan (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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