Special issue: Advanced Plasma Science and its Applications for Nitride and Nanomaterials

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	ISPlasma (VerfasserIn), IC-PLANT (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Nakamura, Keiji (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo IOP Publishing 2019
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics volume 58, number SA (February 2019)
Schlagworte:	Konferenzschrift
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