Aufbau eines in-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten

München, Techn. Univ., Diss. : 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Friedl, Armin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1993
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	München, Techn. Univ., Diss. : 1993
Beschreibung:	92 S graph. Darst