Fotolithografie Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Fedotov, Jakov Andreevič (HerausgeberIn), Pohl, H.-J. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Moskau Sovjetskoje Radio 1975
Berlin Verl. Technik u.a. 1975
Ausgabe:1. Aufl.
Schlagworte:
Fotolithografie > Integrierte Schaltung > Fertigung > Halbleitertechnologie
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben. - Auf d. Rücken: Fedotov-Pohl
Beschreibung:336 S.
zahlr. Ill. u. graph. Darst.