Oxygen, carbon, hydrogen, and nitrogen in crystalline silicon : symposium held Dec. 2 - 5, 1985, Boston, Mass., USA

Oxygen, carbon, hydrogen, and nitrogen in crystalline silicon symposium held Dec. 2 - 5, 1985, Boston, Mass., USA

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Mikkelsen, J. C. (HerausgeberIn), Mikkkelsen, J. C. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. u.a. Materials Research Soc. 1986
Schriftenreihe:Materials Research Society symposia proceedings 59
Schlagworte:
Konferenzschrift > Sauerstoff > Kohlenstoff > Wasserstoff > Stickstoff > Silicium > Verunreinigung > Kongress
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Beschreibung
Beschreibung:xv, 579 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0931837243
0-931837-24-3