Nanolithography the art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Oxford, Cambridge, Philadelphia, New Delhi
Woodhead Publishing
2014
|
| Schriftenreihe: | Woodhead Publishing series in electronic and optical materials
number 42 |
| Schlagworte: | |
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