Nanolithography the art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Feldman, Martin (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Oxford, Cambridge, Philadelphia, New Delhi Woodhead Publishing 2014
Schriftenreihe:	Woodhead Publishing series in electronic and optical materials number 42
Schlagworte:	Nanolithografie
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