Ion implantation for materials processing

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Smidt, F. A. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Park Ridge, NJ Noyes Data Corp. 1983
Schriftenreihe:Chemical technology review 224
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Beschreibung
Beschreibung:X, 244 S.
ISBN:0815509618
0-8155-0961-8