Handbook of vacuum science and technology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hoffman, Dorothy M. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: San Diego, Calif. u.a. Academic Pr. 1998
Schlagworte:
Online Zugang:Verlagsangaben
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XXII, 835 Seiten
Illustrationen
ISBN:0123520657
0-12-352065-7