MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme; mit 6 Tabellen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Glück, Markus (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Wiesbaden Teubner 2005
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Lehrbuch Elektrotechnik
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Microtechnology > Lehrbuch > MEMS > Sensorsystem > Mikrosensor
Online Zugang:	Cover Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Inhaltstext
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