MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme; mit 6 Tabellen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Wiesbaden
Teubner
2005
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Lehrbuch Elektrotechnik
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Cover Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
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| Beschreibung: | Literaturverzeichnis: Seite [201]-205 |
|---|---|
| Beschreibung: | 212 S. Ill., graph. Darst. 240 mm x 170 mm |
| ISBN: | 3519005204 3-519-00520-4 |