Electron optical systems for microscopy, microanalysis & microlithography proceed. of the 3rd Pfefferkorn Conference, held April 9 to 14, 1984, at the Carousel Hotel, Ocean City, MD

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Scanning Electron Microscopy Incorporated (BerichterstatterIn), Pfefferkorn Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Hren, John J. (HerausgeberIn), Lenz, Friedrich A. (BerichterstatterIn), Munro, Eric (BerichterstatterIn), Sewell, Peter B. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	AMF O'Hare, Ill. Scanning Electron Microscopy 1984
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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