High efficiency process development for defect-rich silicon wafer materials

Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 2012

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Junge, Johannes (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: München Dr. Hut 2012
Ausgabe:1. Aufl.
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltstext
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 2012
Beschreibung:160 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9783843904551
978-3-8439-0455-1