PECVD Prozessüberwachung - Wiederholbare Nutzung technischer Plasmen

Zugl.: Karlsruhe, KIT, Diss., 2015

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Grotjahn, Tobias (VerfasserIn)
Körperschaft:	Fraunhofer IRB-Verlag (Verlag)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Fraunhofer Verlag 2015
Schriftenreihe:	Fraunhofer-IWM-Forschungsberichte Bd. 6
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > PECVD-Verfahren > Beschichtungsanlage > Prozessüberwachung > Plasmadiagnostik
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis Freie elektronische Version
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, KIT, Diss., 2015
Beschreibung:	V, 89, XLII Seiten Illustrationen
ISBN:	9783839609040 978-3-8396-0904-0 3839609046 3-8396-0904-6