Prozeßüberwachung und Prozeßregelung beim Abtragen von Deckschichten mit Excimerlaserstrahlung

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Barkhausen, Winfried (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1996
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte aus der Lasertechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Edelstahl > Laserablation > Excimerlaser > Prozessüberwachung > Prozessregelung > Keramischer Werkstoff
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995
Beschreibung:	4, 171 S. Ill., graph. Darst., Tab.
ISBN:	3826518837 3-8265-1883-7