Small scale structures : proceedings of Symposium A on Microstructuring and Microsystems, Symposium B on Materials for Sensors: Functional Nanoscaled Structures, and Symposium E on Structures and Properties of Metallic Thin Films and Multilayers of the 1995 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, May 22-26, 1995

Small scale structures proceedings of Symposium A on Microstructuring and Microsystems, Symposium B on Materials for Sensors: Functional Nanoscaled Structures, and Symposium E on Structures and Properties of Metallic Thin Films and Multilayers of the 1995 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, May 22-26, 1995

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: European Materials Research Society (BerichterstatterIn), Symposium on Microstructuring and Microsystems (BerichterstatterIn), Symposium on Materials for Sensors: Functional Nanoscaled Structures (BerichterstatterIn), Symposium Structure and Properties of Metallic Thin Films and Multilayers (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Rooij, Nicolaas F. de (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. North Holland/Elsevier 1996
Schriftenreihe:European Materials Research Society symposia proceedings 52
Schlagworte:
Microstructure > Congresses > Nanostructures > Micromechanics > Thin films > Chemical detectors > Materials > Structure > Konferenzschrift > Sensor > Nanostrukturiertes Material > Mikrosystemtechnik > Metallschicht > Dünne Schicht > Mehrschichtsystem
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Beschreibung
Beschreibung:Originally published in: Sensors and actuators A51 (1) (Symposium A), Sensors and actuators B31 (1-2) (Symposium B), Thin solid films 275 (1-2) (Symposium E). - Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:Getr. Zählung
Ill., graph. Darst.
ISBN:0444823123
0-444-82312-3