Proceedings of the Third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide thin Insulating Films [held May 23 - 27, 1994 in San Francisco, California]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn), Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Kapoor, Vik J. (HerausgeberIn), Brown, William D. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society 1994
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society Dielectric science and technology and electronics division 94,16
Schlagworte:	Konferenzschrift > Siliciumnitrid > Siliciumdioxid > Dünne Schicht
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