Proceedings of the Tenth Symposium on Plasma Processing : [held at San Francisco, CA, May 22 - 27, 1994]

Proceedings of the Tenth Symposium on Plasma Processing [held at San Francisco, CA, May 22 - 27, 1994]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn), Symposium on Plasma Processing (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Mathad, G. S. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Society 1994
Schriftenreihe:Proceedings / Electrochemical Society Dielectric science and technology and electronics division 94,20
Schlagworte:
Konferenzschrift > Plasmastrahlbearbeitung
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:XI, 606 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:1566770777
1-56677-077-7