Reinigung und Reparatur geschädigter "ultra-low-k-Materialien" eine ab initio Studie

Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2014

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Böhm, Oliver (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (Grad-verleihende Institution), GWT-TUD GmbH (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Auerbach/Vogtland Verlag Wissenschaftliche Scripten 2015
Schriftenreihe:	Forschung für die Praxis Band 2
Schlagworte:	Hochschulschrift > Low-k-Dielektrikum > Silylierung > Diffusion > Ab-initio-Rechnung > Dichtefunktionalformalismus > Molekulardynamik > Siliciumorganische Verbindungen > Aktivierungsenergie > Thermochemie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2014
Beschreibung:	123 Seiten Illustrationen, Diagramme
ISBN:	9783957350213 978-3-95735-021-3