MEMS design, fabrication, characterization, and packaging : 30 May - 1 June 2001, Edinburgh, UK

MEMS design, fabrication, characterization, and packaging 30 May - 1 June 2001, Edinburgh, UK

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE, the International Society for Optical Engineering 2001
Schriftenreihe:Proceedings / SPIE 4407
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses > Microfabrication > Microelectronic packaging > Mechatronics > Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Mikrosensor > Nanotechnologie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 442 S.
graph. Darst., Ill.
ISBN:0819441082
0-8194-4108-2