Advanced metallization for ULSI applications 1992 : proceedings of the conference held October 20 - 22, 1992, in Tempe, Arizona

Advanced metallization for ULSI applications 1992 proceedings of the conference held October 20 - 22, 1992, in Tempe, Arizona

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: University of California Berkeley Continuing Education in Engineering (BerichterstatterIn), Workshop on Advanced Metallization for ULSI Applications (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Cale, Timothy S. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1993
Schriftenreihe:Materials Research Society conference proceedings
Schlagworte:
Konferenzschrift > ULSI > Metallisieren > CVD-Verfahren
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