Advanced metallization for ULSI applications 1992 proceedings of the conference held October 20 - 22, 1992, in Tempe, Arizona

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	University of California Berkeley Continuing Education in Engineering (BerichterstatterIn), Workshop on Advanced Metallization for ULSI Applications (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Cale, Timothy S. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1993
Schriftenreihe:	Materials Research Society conference proceedings
Schlagworte:	Konferenzschrift > ULSI > Metallisieren > CVD-Verfahren
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