Chemical vapor deposition polymerization : the growth and properties of parylene thin films

Chemical vapor deposition polymerization the growth and properties of parylene thin films

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fortin, Jeffrey B. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Lu, Toh-Ming (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boston u.a. Kluwer Academic Publishers 2004
Schlagworte:
Chemical vapor deposition > Thin films > CVD-Verfahren > Dünnschichttechnik
Online Zugang:Cover
Verlagsangaben
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:XVI, 102 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:1402076886
1-4020-7688-6