High resolution focused ion beams: FIB and its applications : the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused ion beam technology

High resolution focused ion beams: FIB and its applications the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused ion beam technology

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Orloff, Jon (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Utlaut, Mark (VerfasserIn), Swanson, Lynwood (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY u.a. Springer Science + Business Media 2003
Ausgabe:Softcover repr. of the hardcover 1. ed.
Schlagworte:
Ion bombardment > Industrial applications > Festkörperoberfläche > Fokussierung > Ionenstrahl
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:X, 303 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9781461352297
978-1-4613-5229-7