Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing III 26-28 January 1998, San Jose, California. Sponsored and publ. by SPIE, the International Society for Optical Engineering. Jan J. Dubowski; Peter E. Dyer, chairs/ed

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Three-Day Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dubowski, Jan J. (BerichterstatterIn), Dyer, Peter E. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Washington SPIE 1998
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 3274
Schlagworte:	Konferenzschrift
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