Beeinflussung elektrischer und struktureller Parameter von implantierten polykristallinen Siliziumschichten durch Lichtimpulserwärmung

Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. A, 1987

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Matthäi, Jürgen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Voelskow, Matthias (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: 1987
Schlagworte:
Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. A, 1987
Beschreibung:184 Bl
Ill., graph. Darst
30 cm