Gettering and defect engineering in semiconductor technology proceedings of the 5th International Autumn Meeting, held in Chossewitz near Frankfurt (Oder), Germany, October 09 - 14, 1993

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	GADEST (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Grimmeiss, Hermann G. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Zug Scitec Publ. 1993
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data / B 32/33
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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