Titansilizide auf Silizium-Germaniumschichten

Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1998

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Demuth, Volker (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Erlangen Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Univ. 1998
Schriftenreihe:	Mikrostrukturelle Materialforschung 6
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Germanium > Mischkristall > Epitaxie > Titansilicide > Epitaxieschicht > Siliciumverbindungen > Germaniumverbindungen
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1998
Beschreibung:	142 S. Ill.
ISBN:	3932392078 3-932392-07-8