Beiträge zur Diagnostik der Silicium-Mikroelektronik mit der rasterelektronenmikroskopischen EBIC-Technik

Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. B, 1989 (Nicht f.d. Austausch)

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kittler, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	1989
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. B, 1989 (Nicht f.d. Austausch)
Beschreibung:	Maschinenschr. vervielf
Beschreibung:	161 S Ill., graph. Darst 30 cm