Numerical simulation of chemical downstream etching

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Riedel, Uwe (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Heidelberg IWR 1997
Schriftenreihe:	Preprint / Interdisziplinäres Zentrum für Wissenschaftliches Rechnen der Universität Heidelberg 97,19
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	7 S. graph. Darst.