Halbleiterfertigung neue Trends bei Produktionsstrukturen und Fertigungsgeräten ; [Vorträge der GME-Fachtagung anlässlich der Productronica '89 am 7. und 8. November 1989 in München, Messegelände] = Semiconductor production

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Fachsektor Halbleiterfertigungsgeräte, VDE-VDI Gesellschaft für Mikroelektronik (GME) (BerichterstatterIn), Productronica (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Rebstock, Hans (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin, Offenbach vde-Verl. 1989
Schriftenreihe:	GME-Fachbericht 5
Schlagworte:	Integrated circuits > Design and construction > Konferenzschrift > Integrierte Schaltung > Halbleitertechnologie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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