Kapazitive Feuchtesensoren in Tantal-Dünnschichttechnik

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1988

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Borgwardt, Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1988
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte / VDI Reihe 8, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik Nr. 163
Schlagworte:	Hochschulschrift > Feuchtigkeitssensor > Kapazitiver Sensor > Dünnschichtsensor > Tantal > Feuchtigkeitsmessung > Mikrosensor
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