Prozeßentwicklung, Charakterisierung und Automatisierung für eine 200 mm Sputteranlage Abschlußbericht zum BMFT-Vorhaben

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Leybold AG (BerichterstatterIn), Fraunhofer-Institut Autonome Intelligente Systeme (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Müller, Jürgen (BerichterstatterIn), Pongratz, S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Alzenau circa 1991
Schlagworte:	Forschungsbericht
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen 415-7291-NT 2767-3. - Das BMFT-Projekt NT27673 wurde im Februar 1991 vorzeitig beendet
Beschreibung:	130 Bl