Drastische Minderung der Oberflächenreflexion von multi- und sinkristallinem Silizium-Material durch RIE

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Kristallisation und Technik
1. Verfasser: Erler, Klaus (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Ball, Mathias (VerfasserIn), Mrwa, Axel (VerfasserIn), Werner, Thomas (VerfasserIn), Ebest, Gunter (VerfasserIn), Heinz, Steffen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2002
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