Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu307

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bade, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1994
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 2, Fertigungstechnik 315
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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